중국 최대 파운드리 업체인 SMIC는 네덜란드 반도체 장비 공급업체인 ASML과 딥 자외선(DUV) 포토리소그래피 시스템을 공급받기 위해 약 12억 달러에 달하는 구매계약을 체결했다. 이를 통해 미국 제재의 그늘에 깔린 중국 반도체 업체들의 공급망 리스크를 완화하는 데 도움이 될 것이라고 평가했다.

지난 3일 차이나코어인터내셔널의 발표에 따르면 SMIC는 구매계약에 문건에 구체적인 제품을 명시하지 않고 '웨이퍼 생산 제품'이라고만 했다고 보도했다.

그러나 ASML은 공식 홈페이지에 성명을 통해 SMIC 글로벌 소싱이 DUV 리소그래피라는 사실이 확인됐다.

로이터통신은 소식통을 인용해 미국 전 트럼프 행정부가 SMIC에 핵심적인 칩 제조 기술을 수출하는 것을 막으려 했다고 전했다. 바이든 현정부하에서도 기존의 규정을  폐지하지 않고 그대로 적용하고 있다. 규정에 따라 미국 공급업체는 상무부에  국가 안보상 상하이 소재  SMIC 웨이퍼 공장에 설비와 자재를 출하하기 전에 무역허가증을 신청해야 한다고 알려졌다.

ASML 중국 대변인은 미국 정부의 규제와 별개로 네덜란드 정부의 EUV 시스템 중국 수출 승인을 기다리고 있다고 전했다.

SMIC은 올해 43억 달러를 자본 지출에 투자할 계획이며, 이 중 상당 부분을 성숙노드 확대에 투자함으로써 글로벌 반도체 부족 해소에 기여할 수 있다고 밝혔다. 

또한 현재 글로벌 반도체 부족이 자동차 산업에서 소비·전자 산업으로 확산하고 있어 증설을 서두르고 있다고  밝혔다.

SMIC는 신규투자를 통해 월 반도체 생산 능력을 8인치 웨이퍼 기준 13만개 수준에서 15만개 수준으로 개선될 것이라고 전망했다. 

김성호 기자 kimsh@nvp.co.kr